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薄膜測厚儀的工作原理是什么?

來源:錦華儀器發(fā)布時間:2024-03-19

       薄膜的厚度是否均勻是檢驗薄膜性能的依據(jù)。顯然,如果一批單層薄膜的厚度不均勻,不僅會影響薄膜的抗拉強(qiáng)度和阻隔性能,還會影響薄膜的后續(xù)加工。此外,合理控制產(chǎn)品厚度,不僅可以提高產(chǎn)品質(zhì)量,還可以降低材料消耗,提高生產(chǎn)效率。因此,薄膜厚度是否均勻,是否與預(yù)設(shè)值一致,厚度偏差是否在范圍內(nèi),都是薄膜能否具備一些特性指標(biāo)的重要前提。薄膜厚度測量是薄膜制造行業(yè)的基本檢測項目之一。

  薄膜測厚儀采用機(jī)械接觸測量原理,截取一定尺寸的圖案;通過控制面板上的按鈕調(diào)整測頭落在圖案上;材料的厚度是通過兩個接觸面產(chǎn)生的壓力和傳感器測量的兩個接觸面積來測量的。

  1、接觸面積和測量壓力嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計,同時支持各種非標(biāo)定制。

  2、薄膜測厚儀測試時測頭自動升降,有效避免人為因素造成的系統(tǒng)誤差。

  3、支持自動和手動兩種測量模式,方便用戶自由選擇。

  4、系統(tǒng)可自動進(jìn)樣,進(jìn)樣步驟、測點、進(jìn)樣速度等相關(guān)參數(shù)可由用戶自行設(shè)置。

  5、測量結(jié)果的平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù)實時顯示,方便用戶判斷。

  6、配置標(biāo)準(zhǔn)量塊進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn),確保測試的準(zhǔn)確性和數(shù)據(jù)一致性。

    7、系統(tǒng)支持實時數(shù)據(jù)顯示、自動統(tǒng)計、打印等多項實用功能。

  8、5寸觸摸屏控制,方便用戶進(jìn)行測試操作和數(shù)據(jù)查看。

  9、薄膜測厚儀標(biāo)準(zhǔn)USB接口,方便系統(tǒng)與電腦的外部連接和數(shù)據(jù)交換。

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